北方华创三大集成电路项目收获2亿国家专项资金【亚博app下载安装】

本文摘要:2017年5月17日,北方华创科技集团有限公司(以下简称“北方华创”)及其全资子公司北京北方华创微电子设备有限公司(以下简称“北方华创微电子”)收到北京电子有限公司拨付的国家科技基础专项14纳米三维网格等离子光刻机研发及产业化项目资金423万元。

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2017年5月17日,北方华创科技集团有限公司(以下简称“北方华创”)及其全资子公司北京北方华创微电子设备有限公司(以下简称“北方华创微电子”)收到北京电子有限公司拨付的国家科技基础专项14纳米三维网格等离子光刻机研发及产业化项目资金423万元。28-14nm原子层沉积系统(ALD)产品研发及产业化项目4811万元,14-7nmCuBS多工艺室建设设备研发及产业化项目4746万元。具体如下:1。

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